Что думают наши авторы о нас?
"Особые слова искренней благодарности адресую Индре Бондаренко и Катерине Нечипуренко за замечательную работу: профессионализм, оперативность и внимание к автору." С уважением, доктор филологических наук, профессор РУДН (Москва) Чеснокова Ольга Станиславовна
Радиацоинно-термическая обработка МОП-приборов и интегральных схем
Улучшение характеристик МОП-приборов и интегральных схем
Palmarium Academic Publishing ( 12.07.2013 )
€ 59,90
В книге рассмотрены особенности планарных МОП-структур на основе кремния и физические особенности строения пленки оксида кремния на кремнии. Отмечается роль механических напряжений в структуре "оксид кремния-кремний". Приводятся результаты исследования эффекта радиационно-термической обработки (РТО). Предлагается применение РТО для выявления аномальных структур и для диагностики технологического процесса изготовления изделий с МОП-структурой.
Детали книги: |
|
|
ISBN-13: |
978-3-659-98333-7 |
|
ISBN-10: |
3659983330 |
|
EAN: |
9783659983337 |
|
Язык книги: |
Russian |
|
By (author) : |
Виктор Попов |
|
Количество страниц: |
116 |
|
Опубликовано: |
12.07.2013 |
|
Категория: |
Электроника, электротехника, коммуникационные технологии |