Анализ дефектов структуры карбида кремния розеточными методиками

В монографии рассматриваются особенности экспериментальных изображений дефектов структуры монокристаллического карбида кремния, полученных прямыми и неразрушающими физическими методами рентгеновской топографии и поляризационно-оптического анализа, а также приводятся результаты проведённых исследований этого материала. Интерпретация дефектов и определение их характеристик осуществляются по дифракционным и оптическим изображениям в виде розеток контраста. Проведено сравнение информативности различных методов при исследовании карбида кремния и дается обзор возможностей цифровой обработки экспериментальных изображений дефектов структуры. Предназначается для научных работников, инженеров, преподавателей и студентов, специализирующихся в области физического материаловедения, кристаллофизики, технологии материалов и приборов электронной техники.