Автоматическое заполнение манекена для технологии DSM

Растущая сложность конструкций СБИС и технологий обработки ИС увеличивает несоответствие между проектированием и производством. Сходство между схемой, изготовленной на пластине, и схемой, разработанной в инструменте компоновки, ослабевает. Вариации процесса, производственные дефекты и т.д. формируют новые узкие места в стоимости (время выполнения, производительность) по мере того, как мы вступаем в эпоху СБИС нанометрического масштаба. Это побуждает к исследованиям, направленным на повышение предсказуемости и производительности производства СБИС, а также средств технологии проектирования для преодоления вариаций процесса и литографических ошибок. CMP и другие этапы производства в глубоком субмикронном СБИС оказывают различное влияние на устройство и особенности соединения, в зависимости от локальных характеристик компоновки. Для повышения технологичности и предсказуемости характеристик, а также для обеспечения единообразия компоновки в соответствии с предписанными критериями плотности, в компоновку вставляется геометрия "манекена". Заливка манекена с полным слоем стружки является итеративным процессом, отнимающим много времени и увеличивающим размер GDS.