Рассеяния ионов и распыления поверхностей при ионной бомбардировке

Книга посвящена проблеме исследования (диагностики) поверхности с использованием методов ионно-рассеявательной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектроскопии, которые позволяют изучать элементный и химический состав поверхности. Полученные результаты показали, что малоугловое рассеяния ионов позволяют определить состав и структур поверхности, а также позволяют изучить характер и образования процессов деканалирования, перефокусировки и фокусировки ионов. Приведены результаты исследования распыления пленки льда в виде молекул и их кластеров, адсорбированных на металлической поверхности. Книга предназначена специалистам в области физика поверхности, физической электроники, а также студентам старших курсов соответствующих специальностей.